電子無塵

電子無塵車間生產的產品都是很精細的東西，一個小的灰塵就會讓這個電子器件短路或者直接報廢的，所以電子廠跟半導體廠都是要求做電子無塵車間的，還需要恒溫恒濕的狀態。

電子行業對于電子無塵車間的要求:無塵車間也叫潔凈廠房、潔凈室、無塵室，電子無塵工廠生產工藝有集成電路等分類眾多。由于電子無塵車間生產工藝種類繁多，對潔凈度等級要求也不同，高的很高，低的很低；對粒子粒徑控制的要求也不同，范圍約為0.1-5um；對溫濕度控制的要求相對較高，如集成電路前道工序一般要求室內溫度基數為22℃（精度±0.1至±1℃），相對濕度基數為40%（精度±2至±5℃）；正壓值要求的梯度級別，隨著潔凈度的變化而從高到低變化，差值5-10Pa。

電子無塵車間的冷負荷比其他行業的無塵車間大很多，單位冷負荷達400-500W/㎡很常見。由于冷負荷大，一般情況下，冬季也需要供冷，這是電子行業的特點。

電子行業電子無塵廠房生產工藝過程產生的有毒有害氣體種類繁多，且量也大，所以需要的排風量和新風量也大。新排風的節能措施也是行業特點之一，排放前要做處理，使排風符合環保要求。

另外電子行業電子無塵廠房生產工藝有抗靜電、抗微振的要求，并且大宗氣體和特種氣體種類多，對純度和潔凈度要求也是很高的。